壓電傾轉(zhuǎn)位移臺RA-3402A，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位精準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°無限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。

• 應(yīng)用案例

△ 電子顯微鏡原位納米探針臺

△ 半導(dǎo)體芯片檢測

△ 光刻機工件臺

△ 微生物操縱手

△ 光纖焊接

△ 超精密組裝

△ 精密檢測與測量

△ 高精度激光對焦 

納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺RF-8382A，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位精準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°無限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。

• 應(yīng)用案例

△ 電子顯微鏡原位納米探針臺

△ 半導(dǎo)體芯片檢測

△ 光刻機工件臺

△ 微生物操縱手

△ 光纖焊接

△ 超精密組裝

△ 精密檢測與測量

△ 高精度激光對焦 

納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺RF-33A，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位精準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°無限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。

• 應(yīng)用案例

△ 電子顯微鏡原位納米探針臺

△ 半導(dǎo)體芯片檢測

△ 光刻機工件臺

△ 微生物操縱手

△ 光纖焊接

△ 超精密組裝

△ 精密檢測與測量

△ 高精度激光對焦 

納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺RF-5950A，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位精準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°無限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。

• 應(yīng)用案例

△ 電子顯微鏡原位納米探針臺

△ 半導(dǎo)體芯片檢測

△ 光刻機工件臺

△ 微生物操縱手

△ 光纖焊接

△ 超精密組裝

△ 精密檢測與測量

△ 高精度激光對焦 

線性壓電納米位移臺-微動臺NF-100L產(chǎn)品介紹

超低溫線性壓電納米位移臺XYLT34-06B，線性壓電位移臺專為低溫而生，集成單軸粗調(diào)細調(diào)整控制，超大行程，超高負(fù)載，亞納米級別開環(huán)分變率。

可以適應(yīng)液氮的低溫實驗環(huán)境，該產(chǎn)品滿足了大量客戶的多重應(yīng)用場景。特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計 ，使得產(chǎn)品的低溫可靠性，易用性大大增強，即使在長期的的低溫環(huán)境 下性能也能發(fā)揮出來。

得益于粉調(diào)整細調(diào)整的運動控制，使得超低溫下，高精度，高分辨率，大行程能同時兼得，讓實驗應(yīng)用變得輕松。

不同于傳統(tǒng)的微米級別行程，本產(chǎn)品擁有超大運動行程（支持定制）。大運動行程可以替代傳統(tǒng)的大范圍運動加小范圍補償?shù)倪\動方案，從而使設(shè)計結(jié)構(gòu) 更加緊湊，運動控制更加簡便。

線性壓電納米位移臺-微動臺NF-100產(chǎn)品介紹

超低溫線性壓電納米位移臺LT34-06B，線性壓電位移臺專為低溫而生，集成單軸粗調(diào)細調(diào)整控制，超大行程，超高負(fù)載，亞納米級別開環(huán)分變率。

可以適應(yīng)液氮的低溫實驗環(huán)境，該產(chǎn)品滿足了大量客戶的多重應(yīng)用場景。特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計 ，使得產(chǎn)品的低溫可靠性，易用性大大增強，即使在長期的的低溫環(huán)境 下性能也能發(fā)揮出來。

得益于粉調(diào)整細調(diào)整的運動控制，使得超低溫下，高精度，高分辨率，大行程能同時兼得，讓實驗應(yīng)用變得輕松。

不同于傳統(tǒng)的微米級別行程，本產(chǎn)品擁有超大運動行程（支持定制）。大運動行程可以替代傳統(tǒng)的大范圍運動加小范圍補償?shù)倪\動方案，從而使設(shè)計結(jié)構(gòu) 更加緊湊，運動控制更加簡便。

長行程壓電納米位移臺ML-92A，具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡單，定位精準(zhǔn)，能在真空下使用等優(yōu)點,可應(yīng)用于需要納米精度運動操作及定位的各個領(lǐng)域。

該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動，運動無需潤滑，真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。能夠步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)/閉環(huán)控制。

長行程壓電納米位移臺XYMF-133-100A,具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡單，定位精準(zhǔn)，能在真空下使用等優(yōu)點，XYMF-133-100A平移臺可實現(xiàn)在XY二維空間上的精確定位，可應(yīng)用于需要納米精度運動操作及定位的各個領(lǐng)域。

該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動，運動無需潤滑，真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。能夠步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)/閉環(huán)控制。